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客戶定制服務

產品與服務 Products and Services

3μm SOI基底

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基于3μm頂硅的SOI襯底進行流片和工藝開發，提供定制化流片服務

我要定制

詳情

主要工藝模塊包括：180nm精度DUV光刻、 500nm精度i-line光刻、1.2μm/1.6μm/3μm高精度刻蝕工藝、 鍺/鍺硅材料外延工藝、注入摻雜工藝、介質材料生長工藝、鎢填充孔工藝、硅和鍺的歐姆接觸及金屬互連工藝等。


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