2021-11-08
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無源MPW流片11月15日批次版圖收集中；有源MPW流片當前尚有少量空位!
——預定從速——
Part 1
硅光平臺
▲中科院微電子所硅光平臺以8英寸CMOS工藝線為支撐，開發成套的硅光工藝模塊，建立了硅光設計仿真平臺、光電測試平臺和硅光PDK。
Part 2
技術服務
▲平臺為國內外客戶提供包括無源器件和有源器件在內的硅光全流程工藝服務。
▲平臺主要工藝模塊包括220nm/150nm/70nm無源器件刻蝕工藝、高速調制器和鍺探測器的摻雜工藝、介質材料生長工藝、TiN加熱器電極工藝、鍺材料外延工藝、鎢填充孔工藝、硅和鍺的歐姆接觸及金屬層工藝等。
▲平臺配置了8-12英寸硅光晶圓自動測試系統，該解決方案基于成熟可靠的12寸探針臺和納米級精密自對準定位組件，搭建起高效且兼容性高的光電混合測試系統。
▲平臺還配置了納米級端面耦合測試系統，針對不同的耦合方式為為客戶提供不同的測試解決方案。
▲平臺建立了全程可追溯的測試數據庫，持續向客戶推出各類靈活、可靠、可升級的產品和服務。
▲ 部分工藝及器件
▲ SOI器件庫
▲ SiN器件庫（200nm）
▲ 8英寸晶圓級測試自動測試平臺＋芯片級測試平臺
▲平臺每年可對外提供6-8次MPW流片服務，目前已為行業提供15批次MPW流片服務，同時為了滿足客戶的特殊工藝要求，可提供工藝定制服務。
Part 3
硅光PDK2.0
合作流程
▲2016年12月，微電子所公開發布了硅光平臺首版PDK；2020年12月，正式公開發布了硅光平臺PDK2.0
▲合作流程
End！
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